Стан: Б/В Як новий
Назва: Довідник по технології мікроелектронних пристроїв
Автор: З.Ю. Готра
Тип видання: Довідник
Видавництво: Каменяр (Львів, Україна, УРСР, СРСР)
Рік видання: 1986
Мова: Російською мовою
Ілюстрації: Чорно-білі
Палітурка: Тверда
Кількість сторінок: 287
Розміри (ДxШxТ): 20,5 x 13,5 x 2 см
У довіднику наводяться дані про матеріали, що застосовуються при виробництві мікроелектронних пристроїв, про способи очищення, механічної, хімічної та електромеханічної обробки. Розглянуто питання дифузії, епітаксії, вирощування монокристалів напівпровідників, вакуумного напилення, літографії та складання у виробництві мікроелектронних пристроїв.
Для фахівців, що працюють у галузі технології мікроелектронних пристроїв, може бути корисним учням профтехучилищ відповідного профілю.